全自动激光切晶圆首现开发区

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在国内晶圆切割领域尚属首例 可大幅降低生产成本

近日，中电4癫痫急救5所研制的全自动激光切割机，经过近三个月的安装调试，考核完成、准备发货。这在国内GPP晶圆切割领域尚属首例。

晶圆切割是半导体芯片制造工艺流程中一道必不可少的工序，目前大多晶圆制造划片厂商，多采用旋转砂轮式切割机，此种工艺需要刀片冷缺水和切割水，均为去离子水（DI纯水）。旋转砂轮式切割需要宝石刀片，每分钟接近4万转的旋转速度，容易发生打刀损坏，生产成本较高。中电45所开发的这台全自动激光切割机名为JHQ-郑州军海脑病医院8100C，可大幅癫痫病起因降低生产成本。

JHQ-8100C全自动激光切割机是在半自动机型基础上改进形成的，使用激光对晶圆进行无接触式加工，降低了传统切割方式的运行成本，提高了产品的加工效率和加工成品率，提高了GPP产业的自动化程度。设备融合了图像识别、高精度自动对位、自动切割等技术，可根据癫痫病有什么危害客户需求，实现晶圆的自动上料、切割、下料等动作，将GPP晶圆切割成不同尺寸规格的晶粒。

中电45所是开发区重点企业，目前已成为国内设备行业中的*，在诸多核心要素方面具备冲击世界同业前三强的基础条件，企业的新目标是，到2020年，将把45所建设成为世界同行业前三强，进入中关村*自主创新示范区企业500强。（记者 田艳军）